晶圆紫外擦除机功能简介：

1、UVC辐照计测量值波长254nM,功率在20-25mW/CM2。

2、晶圆擦除参考时间1.5-2小时

3、灯管更换寿命建议为 9000 hr

4、可擦除晶圆规格：6寸-12寸，可同时一次性擦除6片8寸片或2片12寸片。

5、每根灯管有相应的LED指示灯对应检测灯管是否正常点亮

6、用户可定时单次设定UV照射的时长，并可累计显示灯管组整体使用寿命时间。

7、设备具备温度报警检测，显示当前设备内部温度数据，超温报警设置。

8、设备具备定时到点声光报警功能，蜂鸣器和LED闪光报警。

9、输入电压：220V，最大功率： <1KW，设备尺寸：100*75*45 CM