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UV-8820C

一、晶圆紫外擦除机UV-8820C功能简介:
1、UVC辐照计测量值波长254nM,功率在20-25mW/CM2。
2、晶圆擦除参考时间1.5-2小时。
3、灯管更换寿命建议为 9000 hr
4、可擦除晶圆规格:6寸-12寸,可同时一次性擦除8片8寸片或3片12寸片。
5、每根灯管有相应的LED指示灯对应检测灯管是否正常点亮。
6、用户可定时单次设定UV照射的时长,并可累计显示灯管组整体使用寿命时间。
8、设备具备温度报警检测,显示当前设备内部温度数据,超温报警设置。
9、设备具备定时到点声光报警功能,蜂鸣器和LED闪光报警。
10、输入电压:220V,最大功率: <1.5KW,设备尺寸:120*94*52 CM。

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